FILMERとは？

FILMER（FIB Laser Ionized Nano Mass Imager）は、高分子材料や有機・無機複合材料の研究・開発の現場ニーズに答える、飛行時間型二次イオン質量分析装置です。

FILMER の特徴

① 高空間分解能（専用１次イオン（Ga)ビーム開発）

面分解能

50nm、質量分解能（m/Δm): 5,000@m/z=56を両立。

試料

Liイオン電池（正極）
国立研究開発法人　産業技術総合研究所様ご提供

※トヤマ社内にて分析

② in situでFIBによる加工、分析を可能とする

粒子表面のみならず、断面の分析も可能
※市販トナー（シアン）使用

トヤマ社内にて分析

③ in situでFIBによる加工、分析を可能とする

SPM断面のSIMSマッピング
※SPM: Suspended Particulate Matter（浮遊粒子状物質）

Ref.) T. Sakamoto et. al., Applied Surface Science, 2008, 255,1617.

④ Laser SNMSの採用

信号イオン発生効率向上と有機物高感度分析を可能とする

　スパッタされる中性粒子を分析することでSIMSよりも高感度な分析が可能です。イオンビームではイオン化しにくい金属や有機物の分析に有効です。

　イオンビームによってスパッタされる粒子のほとんどが中性粒子と言われており、その中性粒子をレーザーによってイオン化することで高感度分析を行うことができます。

　当社で行った金属試料や有機物試料の分析において、SIMSよりもSNMSのほうがカウント数の多いマススペクトルを取得できています。

Ref.)T. Ishikawa et…,J. Surf. Sci. Jpn., Vol.35, P383 (2014)

製作経緯

本装置は、科学技術振興機構（JST）の先端計測技術・機器開発事業の機器開発「収束イオンビーム/レーザーイオン化による単一微粒子の履歴解析装置」（リーダー：東京工業大学藤井正明教授、開発担当：工学院大学　坂本哲夫教授）及び、研究成果展開事業先端計測技術・機器開発プログラム、プロトタイプ実証・実用化プログラム「FIB光イオン化ナノ質量イメージング装置の実用化開発」（リーダー：㈱トヤマ遠藤　克己、サブリーダー：工学院大学　坂本哲夫教授）の成果によるものです。

FILMER の仕様

性能	一次イオンビーム種	30keVGa⁺
	面分解能（マッピング）	50nm
	測定範囲	1µm～500μm
	質量分析器	飛行時間型(TOF)
	質量分解能（m/z=56）	m/Δm=5000
	試料大きさ	縦1cm ×　横１cm ×厚さ3mm
	マニピュレータ	五軸駆動ステージ
	オプション	SEM、電荷中和銃、ガスイオン銃、トランスファーベッセル、ほか

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