■使用目的

真空中での調整および位置決めをするための直線導入機です。

■特徴

1. 圧力が10^-8Pa（10^-10Torr)以下の超高真空領域まで使用できます。
2. 真空シール部にベローズを使用しているため、リークの心配がありません。
3. 移動距離は7種類用意しています。
4. ハンドル１回転に対するシャフトの移動距離は1mmです。
5. スムーズな移動と高推力によって、正確な位置決めが可能です。
6. 移動時のシャフトの回転はありません。 　　
7. リーク量：<1.3×10^-11Pa・m³/sec(1×10^-10Torr・L/sec)
8. 真空シール方式：ベローズ方式
9. 許容加熱温度：200℃
10. 位置決め目盛：0.01mm
11. 許容最大推力：３０Ｋg（ICF034）、４５Ｋg（ICF070）

真空中での精密微調整および位置決めをするために、マクロメーターヘッドを採用をした直線導入機（LM034-M　ストローク２０mm）もあります。

オプションにて、端部にICF034フランジをとりつけた、中空タイプもあります。
真空中への電流導入・取出し等が容易となります。

詳細は、 お問い合わせください。

■ICF034寸法

型式	Ａ	Ｂ	Ｃ	移動距離
LM034-2	40	120	160	±１０
LM034-3	45	140	185	±１５
LM034-4	50	160	210	±２０
LM034-5	55	180	235	±２５
LM034-6	60	200	260	±３０
LM034-8	70	210	310	±４０
LM034-0	80	280	360	±５０

■ICF070寸法

型式	Ａ	Ｂ	Ｃ	移動距離
LM070-2	45	105	150	±１０
LM070-3	50	125	175	±１５
LM070-4	55	145	200	±２０
LM070-5	60	165	225	±２５
LM070-6	65	185	250	±３０
LM070-8	75	225	300	±４０
LM070-0	85	265	350	±５０

■使用目的
真空中に取り付けた試料などに回転運動を与えたり、回転方向の位置決めをするための導入機です。

■特徴

1. 圧力が10^-8Pa（10^-10Torr)以下の超高真空領域まで使用できます。
2. 真空シール部にベローズを使用しているため、リークの心配がありません。
3. ハンドル部に設けられた目盛りにより位置決めが可能です。
4. 回転固定ネジにより、任意の角度での固定が可能です。
5. RM070は、バーニア目盛りにより0.1°まで読み取りが可能です。
6. リーク量：<1.3×10^-11Pa・m³/sec(1×10^-10Torr・L/sec)
7. 真空シール方式：ベローズ方式
8. 許容加熱温度：200℃
9. 位置決め目盛：5°(ICF034)、1°（ICF070バーニヤ目盛0.1°）

■使用目的 真空中に置かれた試料その他を、大気に触れさせることなく移動（直線、回転）、または搬送するための、マグネットカップリング方式の導入機です。

■特徴

1. マグネットカップリング方式の採用によりシール。
2. スライドによる移動機構になっており、直線運動も回転運動もスムーズに行えます。
3. 移動調整ストッパーおよび回転目盛りが付いていますので、移動量の調整が簡単です。
4. たわみの少ない構造ですので、試料搬送の用途にも安心して使用できます。
5. シンプルな構造で、耐久性にすぐれています。
6. ＸＹマニピュレータ（ＴＭシリーズ）と組み合わせてご使用になれば、移動量（搬送位置）の微調整も可能です。
7. 最少読取角度5°（360°回転）

オプションにて、
排気用のフランジ（ICF034）を端部に取り付け可能です。
2軸（回転＋直線）・（回転＋回転）などの取り扱いもあります。


極高真空対応のXHVシリーズもあります。
電子顕微鏡・表面、界面分析装置・成膜装置・極高真空、超高真空領域で使用される真空装置全般にお勧めいたします。

型式	Ｌ（全長）	l(移動距離)
MC-250	530	250
MC-500	780	500
MC-750	1030	750
MC-1000	1280	1000

MC034シリーズの外観図については お問い合わせください。

■使用目的 各種真空装置における真空中の試料の移動、位置決めを大気側から行うためのＸＹマニピュレーターです。標準でＸ、Ｙの２軸の自由度があり、さらにオプションを併用すれば３軸、４軸、５軸の動作も可能となります。

■特徴

1. 圧力が10^-8Pa（10^-10Torr)以下の超高真空領域まで安心して使用できます。
2. 柔軟なベローズを採用し、リークの心配なく、スムーズで高精度の移動ができます。
3. 構造に工夫を凝らし、小型軽量化を実現しました。
4. ＋Ｔ型はチルト機構を装備（7°まで駆動）。
5. 真空シール方式：ベローズ方式
6. 許容加熱温度：150℃
7. 移動距離：XY軸とも±12.5mm
8. 繰り返し精度：0.01mm以下

オプションにて、モータ駆動タイプ等の対応も致します。
+T型はチルト機構（７°）を装備しております。

詳細は、 お問い合わせください。