株式会社トヤマ

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New Facing Targets Sputtering



こちらではNew Facing Targets Sputtering(NFTS)
新対向ターゲット形スパッタリングについて紹介します。



NFTSとは?


NFTSの特長


NFTS技術の概要


NFTSにより形成される薄膜の特長


マグネトロンスパッタリングの原理と問題


従来型のFTSの原理と問題


NFTSの原理と特長


NFTS用途


高性能透明断熱フィルム


HDD用DLC膜


シードCu層


Co-Cr合金系磁気記録膜


NFTS装置ラインアップ


NFTSプラズマ源ラインアップ


大型ウェブ式NFTS装置の特長


開発背景


関連情報


 
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