製品情報

放射光

粒子加速器

線型加速器

陽子

  • 高周波四重極リニアック(RFQ)
  • 負水素イオン源

リング加速器

陽子

  • 速い取り出し用

分析装置

  • 波面計測装置

薄膜形成装置

  • 光反応CVD実験装置
  • X線ミラー用多層膜形成装置〈VST3000⁻R〉
  • 軟X線曲面ミラー多層膜成膜装置〈MST⁻4〉

規格品

  • 真空保管庫
  • 劈開装置
  • UHVマニピュレーター

海外取扱いメーカー