長年培われてきたMBE成膜の経験を活かし、お客様のニーズに合った製品を提供させていただきます。
同時に高品質、高寿命、故障が極端に少ない製品をご提供しております。

・高温マニピュレータ
・エフュージョン セル
・クラスター ソース
・ドーピング セル
・バルブド クラッカー ソース
・E-Beam エバポレーター
・有機 エバポレーター
・ガス クラッキング ソース　等々

様々なご相談にも対応させていただいております。
お気軽にお声掛けください。
担当：営業部　分析装置営業グループ　富塚　仁

以下のリンクより、各製品のデータシートをご覧頂けます。

高温マニピュレータ
　・SUBSTRATE MANIPULATORS / DEPOSITION STAGES SH

エフュージョン セル
　・STANDARD EFFUSION CELL WEZ
　・HIGH TEMPERATURE EFFUSION CELL HTEZ-W

クラスター ソース
　・QUAD　CLUSTER SQURCE QCS

ドーピング セル
　・SILICON SUBLIMATION SOURCE SUSI
　・CARBON SUBLIMATION SOURCE SUKO
　・ATOMIC CARBON SUBLIMATION SOURCE SUKO-A

バルブド クラッカー ソース
　・VALVED THERMAL CRACKER CELL VTCC
　・VALVED SULFUR SOURCE VSS

E-Beam エバポレーター
　・VERTICAL E-BEAM EVAPORATOR EBVV
　・LINEAR MULTI-POCKET EVAPORATOR EBVM

有機 エバポレーター
　・ORGANIC MATERIAL EFFUSION CELL OME

ガス クラッキング ソース
　・HYDROGEN ATOM BEAM SOURCE HABS
　・OXYGEN ATOM BEAM SOURCE OBS