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Filter Box

[硬X線]その他

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Filter Boxとは?

米国NSLS-II放射光施設のISSビームラインに設置する光学ハッチ上流の水冷フィルターであり、透過する放射光の低エネルギー側のフォトンを吸収して、下流側のミラー、分光器、マスクなどのコンポーネントへの熱負荷を減少させるものです。 上下に移動する水冷ブロックの5箇所に等間隔でフィルターが取り付けられる構造となっていて、上下に駆動してフィルターを選択します。また、どのフィルターが選択されたかを検知するための位置センサーが設置してあります。 フィルターボックスチャンバー内側には、円筒形の水冷銅シールドを設けホルダーからの熱輻射を遮断しているため、チャンバーは高温になりません。

Filter Box の仕様

到達真空度<5×10-7 Pa
最大冷却能力2kW(水冷)
フィルター寸法フィルターホルダー外形70Wx5H
ビームサイズ48W x8H
フィルター駆動駆動範囲ステッピングモーター(1軸)、エンコーダ
駆動範囲(垂直)280mm
分解能1.5 um
フィルター位置センサー5点(EPS用センサー)
制御機器EPICSコンパチブル
ポート真空ゲージ(CCG+ピラニゲージ)
RGAポート
電流導入端子(熱電対 20対)
オールメタルアングルバルブ
その他熱遮断用水冷銅シールド
イオンポンプ(合計800l/s)

お問い合わせ

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電話
0465-79-1411㈹
FAX
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