New Facing Targets Sputtering 新対向ターゲット形スパッタリング技術

HDD用DLC膜

【パッシベーション膜】　DLC膜による保護膜

　ダイヤモンド状炭素（DLC）膜は、ダイヤモンドに近い物性を持ち、耐摩耗性・潤滑性などに優れることから、ハードディスク （HDD）、機械工具、及び自動車などの摺動部品に用いられています。DLC膜は水素を含む膜と含まない膜に分かれ、特性を特徴づける一つパラメータとしてダイヤモンド構造（Dバンド）とグラファイト構造（Gバンド）の比があります。

　スパッタ成膜であるNFTS法では水素フリーのDLCを成膜が可能ですが、通常のスパッタ膜に比べて下図に示すようにDバンドの比率の高いDLC膜を成膜することができます。なお、NFTSでのDLC膜は、通常のスパッタ成膜によりできるDLC膜と同程度（20 nm/min）の堆積レートが得られています。NFTS法によるDLC膜のDバンドの比率の高い理由として、NFTSのプラズマボックス内に飛散するC原子は、高いエネルギーに保たれつつイオン化が生じるためと推測されます。

▲カーボン薄膜のラマン分光特性